Pulverización catódica con magnetrón

Principio:
En una cámara de vacío, los iones de gas generados por una descarga luminiscente (como Ar⁺) son acelerados por un campo eléctrico para bombardear un material objetivo sólido. Los átomos objetivo son expulsados a través de este proceso de impacto y depositados sobre el sustrato para formar una película delgada. Para mejorar la eficiencia, se aplica un campo magnético detrás del objetivo para confinar los electrones cerca de la superficie del objetivo, lo que aumenta enormemente la probabilidad de colisión con las moléculas de gas.